退火炉操作规程
退[db:标签]炉是用于制造半导体器件的工艺,包括加热多个半导体晶片以影响它们的电性能。热处理是为不同的效果而设计的。晶片可以被加热以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或者将薄膜转换成晶片衬底界面,压实沉积的薄膜,改变生长薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或者将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或者从薄膜进入晶片衬底。退火炉的操作程序是什么?
退火炉的操作规程:
1。退火炉
1装炉前的检查和准备。检查冷却循环水系统是否正常,入口和回流门是否打开。流经循环风机和炉门的冷却水是否畅通,是否漏水,冷却水压力是否达到0.1 ~ 0.3兆帕,水温是否低于25℃,水量是否合适。
2。检查气压系统是否正常,管道是否漏气,气压是否达到0.4 ~ 0.6兆帕,炉门气缸工作是否正常。
3。检查电气设备和仪表是否正常工作,热电偶是否完好,是否短路,温度测量是否准确。
4。检查炉门升降机构是否正常工作,链条和钢丝绳是否损坏或断裂。炉门应提升,不得堵塞或碰撞。该机制应灵活。炉门安全销应能自由伸缩。上下行程开关应灵敏可靠。
5。检查循环风机和吹扫风机的轴承是否润滑良好,旋转是否正常,是否有噪音。
6。清除炉子周围的障碍物和易燃物。清理熔炉、铝卷、小车和小车轨道中的铝屑和污垢。
2。1号退火炉进出口操作规程。入炉前,根据生产工艺卡的要求,仔细检查轧制或堆放板材的合金牌号、批号、规格、状态和重量,并按要求填写记录。
2。加载期间,请确保正确加载磁带。胶带卷基本上上下、左右、前后对称。辊之间的间隙基本相同。不允许超重、超长、超宽和超高。退火时,轧辊与轧辊、堆垛与堆垛之间的重量差应尽可能小(轧辊与轧辊之间的重量差小于1 T,堆垛与堆垛之间的重量差小于0.5T)。在特殊情况下,考虑到炉子安装的经济性,不同厚度和重量的成品可以安装在一个炉子中进行退火,但温度必须控制在不同的区域,当存在重量差异时,热电偶应插入小线圈或叠层中。
3,正确插入热电偶。热电偶的插入深度为:线圈25 ~ 30毫米,极板50毫米,放置位置必须位于卷或堆的中心,要求放置牢固,无漏气或短路。
4。打开炉门。首先松开炉门按压装置,将炉门提升至上限位置,并插入安全销。
5。入炉过程。
(1)10t炉应先插入台车和料场的插销,然后启动台车,将料车推入炉内,料车就位并停止后拔出插销,最后将台车推出炉外并停在原来的位置。
(2)20T炉应先接通卸料车电源,启动油泵电机,用升降机构将带工件的料盘升至上限,然后将卸料车打入炉内至正确位置,并将料盘放在炉内立柱上。料盘稳定后,将卸料车推出炉外,停在原位,关闭油泵和卸料车电源。
6。关上炉门。台车停止后,拔出炉门安全销,将炉门降至下限位置,并用气缸压紧炉门。炉门应压得均匀紧密,无明显漏气现象。
7。卸料过程的操作程序与进料过程的操作程序相反。
3。温度控制的操作程序
9.如果金属温度在规定时间内超过金属温度上限,则可以适当冷却。如果没有达到金属温度的下限,可以延长保温时间,直到达到金属温度极限。
10。退火后,依次停止加热器、轴流风机、风机和循环风机。打开炉门出来。
以上是退火炉操作规则常识的介绍。我希望这些常识能对你有所帮助。如果你想了解更多关于退火炉的知识,请注意中国和泰国的常识。
退火炉操作规程:http://zhongtainews.com/aqsc/2120.html 转载注明出处!
相关推荐
- 24小时热门
-
- 精彩推荐
-